聲波吹灰器是利用聲波發生頭將壓縮空氣攜帶的能量轉化為高聲強聲波，聲波對積灰產生高加速度剝離作用和振動疲勞破碎作用，使積灰產生松動而脫離催化劑表面，以便煙氣或自身重力將其帶走。在聲波的高能量作用下，粉塵不能在熱交換表面積聚，可有效阻止積灰的生長。

由于聲波的全方位傳播和空氣質點高速周期性振蕩，可以使表面上的灰垢微粒脫離催化劑，而處于懸浮狀態，以便被煙氣流帶走。聲波除灰的機理是“波及”，吹灰器輸出的能量載體是“聲波”，通過聲場與催化劑表面的積灰進行能量交換，從而達到清除灰渣的效果。這種方式適合于松散積灰的清除，對黏結性積灰和嚴重堵灰以及堅硬的灰垢無法清除。

而傳統的高壓蒸汽吹灰器，是“觸及”的方法，輸出的能量載體是“蒸汽射流”，靠“蒸汽射流”的動量直接打擊換熱面上的灰塵，使之脫落并將其送走。這種方式適用于各種積灰的清除，對結性較強、灰熔點低和較黏的灰有較明顯效果。